Ultra-vide se réfère à des pressions inférieures à 10-7 pascal ou 100 nanopascals (un dix-millionième de pascal). Par comparaison, la pression atmosphérique est de 101,3 kPa (kilopascals), plus d'un milliard de fois supérieure à la pression à l'intérieur d'une ampoule est d'environ 1 pascal et la pression dans les parois d'un thermos est d'environ 0,1 pascals. Même l'espace dans la zone autour de la Terre n'est pas un ultra-vide, car il a une pression d'environ 100 micropascals, mille fois plus grande que dans un ultra-vide. Dans un vide très poussé, le libre parcours moyen de chaque molécule de gaz est de 40 km, de sorte que ces molécules entrent en collision à plusieurs reprises avec les parois de leur chambre avant de heurter l'un l'autre.
Ultra-vide est principalement utilisé pour des techniques de surface analytiques, telles que la spectroscopie des électrons Auger, x-spectroscopie de photoélectrons, la spectrométrie de masse d'ions secondaires, spectroscopie de désorption thermique, spectroscopie de photoémission résolue angle et fines techniques de croissance de films nécessitant une grande pureté, comme moléculaire épitaxie par UHV et dépôt de vapeur chimique. Ultra-vide est également utilisée dans les accélérateurs de particules pour créer un trajet de faisceau vide.
réation d'un ultra-vide nécessite des mesures extraordinaires. Conceptions chambre spéciale minimiser la surface, à grande vitesse, y compris les pompes pompes en parallèle, doit être utilisé, tube de conductance élevée est utilisé pour les pompes, puits de gaz emprisonné (comme dans le filetage des boulons) doivent être éliminés, parois de la chambre doit être refroidi à des températures cryogéniques afin d'éviter la sublimation du gaz piégés dans des poches nanoscopiques, toutes les parties métalliques doivent être électrolytiquement, à faible dégazage des matériaux tels que l'acier inoxydable doivent être utilisées, et le système doit être cuit à 250 ° C à 400 ° C (482 ° F à 752 ° F) pour éliminer les traces d'hydrocarbures ou d'eau. Dégazage - l'intrusion lente des molécules de gaz dans de minuscules fissures dans la chambre - peut être un problème majeur. Certaines chambres peuvent être incapables de produire un vide ultra-élevé en raison de la façon dont ils ont été fabriqués, et le matériel doivent être jetés et remplacés. Pour toutes ces raisons, la réalisation de l'ultra-vide peut être coûteuse et difficile.
Bien que l'ultra-vide peut sembler extrême, certains environnements sont un vide encore mieux, y compris la surface de la Lune et de l'espace interstellaire. Certaines régions de l'espace, comme le vide Bouvier, sont tellement raréfié qu'il y ait un seul atome par mètre cube.