MEMS est synonyme de Micro Electro-Mechanical Systems, se référant aux systèmes de machines fonctionnelles avec des composants mesurés en micromètres. MEMS est souvent considéré comme un tremplin entre machines macroscopique classique et nanomachinerie futuriste. MEMS précurseurs ont été autour pendant un certain temps sous la forme de micro-électronique, mais ces systèmes sont purement électronique, incapable de traiter ou de produire quoi que ce soit, mais une série d'impulsions électriques. Cependant, modernes MEMS-fabrication sont en grande partie basée sur la même technologie utilisée pour la fabrication de circuits intégrés, c'est-à-techniques de dépôt de film qui emploient photolithographie.
Considéré comme une technologie habilitante plutôt que comme une fin en soi, la fabrication de MEMS est considéré par les ingénieurs et les technologues comme une autre avancée bienvenue dans notre capacité à synthétiser une large gamme de structures physiques destinés à effectuer des tâches utiles. Le plus souvent mentionnée en lien avec les MEMS, c'est l'idée d'un «lab-on-a-chip", un dispositif qui transforme de petits échantillons d'un produit chimique et renvoie des résultats utiles. Cela pourrait se révéler tout à fait révolutionnaire dans le domaine du diagnostic médical, où les résultats des analyses de laboratoire à des coûts supplémentaires pour la couverture médicale, les retards dans le diagnostic et la paperasserie incommode.
Les MEMS sont fabriqués dans une de deux manières: soit par micro-usinage de surface, dans lequel des couches successives de matériau sont déposées sur une surface et ensuite gravée en forme, ou par micro-usinage de volume, dans lequel le substrat lui-même est gravé pour produire un produit final. Le micro-usinage de surface est la plus courante car elle s'appuie sur les avancées de circuits intégrés. Unique de MEMS, des techniques de dépôt parfois laisser derrière "couches sacrificielles," couches de matériau destiné à être dissous et lavé à la fin du processus de fabrication, ce qui laisse une structure restante. Ce processus permet à un dispositif MEMS à avoir une structure complexe en 3 dimensions. Différentes vitesses microscopique, pompes, capteurs, actionneurs et tuyaux, ont été fabriqués et certains d'entre eux sont déjà intégrés dans la vie quotidienne des produits commerciaux.
Les exemples d'utilisation des MEMS temps modernes comprennent imprimantes jet d'encre, des accéléromètres dans les automobiles, les capteurs de pression de haute précision optique, la microfluidique, la surveillance des neurones individuels, des systèmes de contrôle, et la microscopie. Il y a actuellement aucune telle chose comme un système de micro-ordinateur de production de l'ordre de production des lignes d'assemblage macroscopique, mais il semble que l'invention d'un tel dispositif n'est qu'une question de temps. La perspective de la fabrication de MEMS avec des tableaux est passionnant car de tels systèmes de travail en tangente pourrait être nettement plus productifs que les systèmes macroscopiques qui occupent le même volume et consommant la même quantité d'énergie. Une limitation importante, cependant, serait que les produits macroscopiques construits par des systèmes à micro-machines devraient être principalement composée de blocs de construction préfabriqués micro-échelle.