En vrac micro-usinage est un procédé de fabrication extrêmement de minuscules composants mécaniques ou électriques. Ce processus utilise généralement des plaquettes de silicium, mais de temps en temps utiliser une matière plastique ou en céramique ainsi. En vrac micro-usinage commence avec un morceau solide et enlève de la matière jusqu'à ce qu'il atteigne sa forme finale, par opposition au micro-usinage de surface, ce qui crée une couche par couche pièce. La méthode la plus commune pour la réalisation de micro-usinage en vrac se fait par masquage sélectif et de solvants chimiques par voie humide. La nouvelle alternative à cette méthode est une gravure à sec à l'aide d'un plasma ou d'un système laser pour enlever les matières indésirables. Ceci est généralement plus précis que la gravure humide, mais il est aussi plus cher.
Le micro-usinage est le processus de fabrication de pièces très petites. Ces composants pourraient être n'importe quoi à partir d'une diode à une roue dentée qui est de la taille d'une pointe de stylo. Il ya deux façons principales d'œuvre de ce procédé. Le micro-usinage de surface va utiliser les différentes couches d'une plaquette de silicium pour créer une pièce au-dessus d'une couche existante. Bien que ce soit un processus très important, il est plus difficile de faire des pièces tout à fait uniques et indépendantes.
Afin de rendre ces types de composants, les fabricants devront utiliser le micro-usinage en vrac. À bien des égards, ce qui est similaire à la sculpture d'une statue de marbre, juste sur une échelle beaucoup plus petite. Une plaquette de silicium est traitée pour retirer une partie qui est indésirable dans la pièce finale. Traitement de masse ira de grand à petit tandis que la méthode de la surface passe de petite à grande.
La grande majorité du micro-usinage en vrac utilise du silicium. Le matériel n’est vraiment pas cher puisqu'il représente près d'un quart de la croûte terrestre. En outre, il possède une structure cristalline très fine qui peut se décomposer en couches plus minces qu'un cheveu humain. Cela permet au matériau à travailler à un niveau microscopique aussi bien que dans le macroscopique.
La méthode la plus courante de micro-usinage en vrac est appelé gravure chimique humide. Tout d'abord, la pièce est recouverte d'un matériau à être protégée dans un solvant choisi. Le masque de protection est ensuite enlevé sélectivement pour exposer les zones de la pièce qui se détachent. La pièce est exposée à un solvant, qui sera ensuite dissoudre les zones non protégées et laisser le reste intact. Par la suite, le matériau de masquage restant est retiré.
La nouvelle méthode pour le micro-usinage en vrac est appelé gravure sèche. Celui-ci utilise un dispositif de haute précision, souvent un laser, pour vaporiser les matières indésirables. Par rapport au procédé par voie humide, c'est plusieurs moins d'étapes et d'un manque total de solvants potentiellement dangereux. La principale raison de ce processus n'est pas plus populaire est sa relative nouveauté, par rapport à la voie humide, et les frais d'achat de l'équipement.